Волновая пластина нулевого порядка с воздушным зазором 193 нм
Волновая пластина нулевого порядка с воздушным зазором 193 нм без клеевых слоёв обладает высокой структурной стабильностью и устойчивостью к старению. Кварц устойчив к глубокой УФ-коррозии, подходит для непрерывной работы мощного лазера, обеспечивая стабильный контроль поляризации.
Функции: Воздушный промежуток Толщина 0,3~1,5 мм Высокий порог повреждения С антибликовым покрытием и установленным | ![]() |
Номер товара :
WPA-193nmПроисхождение продукта :
FuZhouТехнические характеристики:
Материал: | Кварц |
Допуск диаметра: | +0,0, -0,1 мм |
Искажение волнового фронта: | λ/8 @ 632,8 нм |
Устойчивость к задержке: | λ/50 |
Параллелизм: | <1 угловая секунда |
Качество поверхности: | 20/10 |
Чистая апертура: | >80% |
Покрытие: | S1&S2: R<0,2% при длине волны |
Стандартная длина волны: | 193 нм |
Стандартные продукты:
Полуволновые пластины P/N# | Четвертьволновые пластины P/N# | Диаметр (мм) |
WPA-210-193 | WPA-410-193 | 10.0 |
WPA-212-193 | WPA-412-193 | 12.7 |
WPA-215-193 | WPA-415-193 | 15.0 |
WPA-220-193 | WPA-420-193 | 20.0 |
WPA-225-193 | WPA-425-193 | 25.4 |
WPA-230-193 | WPA-430-193 | 30.0 |
WPA-235-193 | WPA-435-193 | 35.0 |
WPA-250-193 | WPA-450-193 | 50.0 |
Технические преимущества 193-нм волновой пластины нулевого порядка с воздушным зазором:
Волновая пластина с воздушным зазором 193 нм использует структуру с двумя кварцевыми пластинами с воздушным зазором, что значительно снижает потери на поглощение материала и обеспечивает превосходное пропускание в глубоких УФ-диапазонах, например, в эксимерных лазерах на ArF. Конструкция с воздушным зазором предотвращает термические напряжения, возникающие при склеивании, обеспечивая длительную работу мощного лазера. Благодаря ионно-лучевой обработке достигается наноплоскостность поверхности, что значительно снижает потери на рассеяние и оптимизирует качество волнового фронта, что подходит для высокоточного управления поляризацией в литографии.